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      1. 超純特氣供應系統

        超純特氣供應系統

        惰性:N2O、AR

        毒性腐蝕性:NH3

        易燃易爆性:SiH4、TMA(液體)、DEZ(液體)

        特氣供應設備一般包括:BSGS特氣柜;特氣分流箱VMB

        特氣柜一般配置:雙鋼瓶自動吹掃和切換、減壓閥(高壓采用二級減壓)、二級過濾、緊急切斷、泄漏偵測、真空發生裝置、壓力或重量監測、緊急處置。

        可選功能:EFS(過流開關),溫感,煙感,UV/IR(焰感),Heating Block(加熱),稱重。

         

         

        1. TMA1_WPS圖片


         

         

         

         


         

        氣體系統1
         

        氣體系統2
         

         

         

         

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